萬級凈化車間是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將十萬級凈化車間內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。凈化車間亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 凈化車間最主要之作用在于控制產(chǎn)品所接觸之大氣的潔凈度日溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為凈化車間(潔凈室)。

　　萬級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣，將室內(nèi)的污染逐漸排出，來實現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動，拌有回流或渦流，不同等級的凈化車間，主要是依靠單位時間內(nèi)所送風量的不同來實現(xiàn)。

 

　　十萬級、萬級和百級潔凈車間的凈化級別標準：

 

 

　　萬級凈化車間空氣潔凈度等級的檢驗，應(yīng)以動態(tài)條件下測試的塵粒數(shù)為依據(jù)。潔凈廠房空氣潔凈度的測試，應(yīng)符合如下表規(guī)定：

　　萬級凈化車間標準包括哪些內(nèi)容?

　　1.塵粒最大允許數(shù)(每立方米);

　　2.大或等于 0.5 微米的粒子數(shù)不得超過 350000 個，大或等于 5 微米的粒子數(shù)不得超過 2000 個;

　　3.微生物最大允許數(shù);

　　4.浮游菌數(shù)不得超過 100 個每立方米;

　　5.沉隆菌數(shù)不得超過 3 個每培養(yǎng)皿。

　　壓差：相同潔凈度等級的凈化車間壓差保持一致，對于不同潔凈

　　等級的相鄰凈化車間之間壓差要≥5Pa，凈化車間與非凈化車間之間

　　要≥10Pa。

　　萬級凈化車間對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季 20~22℃;夏季 24~26℃;波動±2℃。冬季凈化車間濕度控制在 30-50%，夏季凈化車間濕

　　度控制在 50-70%。

　　配電：凈化車間(區(qū))的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為

　　200~300Lx。

　　噪聲控制

　　1、動態(tài)測試時，萬級凈化車間內(nèi)的噪聲級不應(yīng)超過 70 分貝 A。

　　2、靜態(tài)測試時，萬級亂流凈化車間的噪聲級不宜大于 60 分貝 A。

　　萬級凈化車間參數(shù)要求：

　　換氣次數(shù)：100000 級≥15 次;10000 級≥20 次;1000≥30 次; 100≥500 次.壓差：

　　主車間對相鄰房間≥5Pa

　　平均風速：10 級、100 級 0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。

　　溫度 45-65%;GMP 粉劑車間濕度在 50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

　　噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的 10%-30%;照度 300LX。

　　千級凈化車間和萬級凈化車間的區(qū)分標準：

　　(一)凈化車間之等級 世界各國均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標準 209 為多，以下僅就 209D 及 209E 和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。 209E 與 209D 等最大之不同在于 209E 表示單位增加了公制單位，凈化車間等級以`M′字頭表示，如 M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之標準化，M 字母后之阿拉伯數(shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm 之微塵粒子數(shù)目字以 10 的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以 1.5、2.5、3.5….表示。 美國聯(lián)邦標準 FS 209D 都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以 0.1μm 微粒子為計數(shù)標準。日本標準之表示法以 Class 1，

　　Class 2，Class 3……Class8 表示，最好的等級為 Class 1，最差則

　　為 Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為 10 的冪次方，取

　　其指數(shù)而得。 (二)凈化車間控管之項目 1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。 2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。 3. 溫度和濕度之控制。 4. 壓力之調(diào)節(jié)。 5. 有害氣體之排除。 6. 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。 7. 靜電之防制。 8. 電磁干擾預(yù)防。 9. 安全因素之考慮。 10. 節(jié)能之考量。

　　萬級凈化車間分類

　　1、工業(yè)凈化車間——以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。 它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)(半導(dǎo)體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。

　　2、生物凈化車間，主要控制有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為; A、 一般生物凈化車間，主要控制微生物(細菌)對象的污染。同時其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕，內(nèi)部一般保證正壓。實質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)凈化車間。例：制藥工業(yè)、醫(yī)院(手術(shù)室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。

　　B、 生物學(xué)安全凈化車間：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負壓。例：細菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實驗室、物物工程(重組基因、疫苗制備)

　　萬級凈化車間所需檢測項目

　　1.氣流速度及其均勻度檢測，這項檢測是凈化車間效果的其他各項檢

　　測的前提，這

　　項檢測的目的是為了明確單向流凈化車間工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。

　　2.系統(tǒng)或房間的風量檢測。

　　3.室內(nèi)潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空

　　氣潔凈度級別，可采用粒子計數(shù)器檢測。

　　4.自凈時間的檢測。通過確定自凈時間，查明凈化車間內(nèi)部發(fā)生污染

　　時恢復(fù)其原有潔凈度的能力。

　　5.氣流流型檢測。

　　6.噪聲的檢測。

　　7.照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明凈化車間的照度水平和照

　　度的均勻性。

　　8.振動的檢測。振動檢測的目的是為了判明凈化車間各表明的振動幅

　　度。

　　9.溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測凈化車間的送風溫度，檢測有代表性測點的空氣溫度，檢測凈化車間中心點的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內(nèi)空氣相對溫度，檢測回風溫度。

　　10.總風量和新風量的檢測。

　　萬級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣，將室內(nèi)的污染逐漸排出，來實現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動，拌有回流或渦流，不同等級的凈化車間，主要是依靠單位時間內(nèi)所送風量的不同來實現(xiàn).。 目前有十萬級和三十萬級兩種標準。

　　萬級凈化車間的作用

　　凈化車間最主要作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為「凈化車間」。世界各國均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標準 209 為多，以下僅就 209D 及 209E 和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。209E 與 209D 等最大之不同在于 209E 表示單位增加了公制單位，凈化車間等級以‵M′字頭表示，如 M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之標準化，M 字母后之阿拉伯數(shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm 之微塵粒子數(shù)目字以 10 的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以 1.5、2.5、3.5….表示。

　　美國聯(lián)邦標準 FS 209D 都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以 0.1μm 微粒子為計數(shù)標準。日本

　　標準之表示法以 Class 1，Class 2，Class 3……Class8 表示，最好

　　的等級為 Class 1，最差則為 Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為 10 的冪次方，取其指數(shù)而得。

　　實體案例介紹萬級凈化車間

　　萬級凈化車間適用于的生物制藥、醫(yī)療器械、醫(yī)院制劑室、手術(shù)室、無菌室、食品飲料、化妝品、電子、實驗室、電子儀器儀表、計算機房、半導(dǎo)體廠、印刷廠、汽車工業(yè)、航天工業(yè)、光刻、微機制造等行業(yè)凈化工程，近年來完成百多項。按各行業(yè)用戶需求，凈化級別從一百級到三十萬級，項目工程均通過權(quán)威部門檢測，按 GMP 規(guī)范標準驗收 QS 規(guī)范標準驗收使合格率達 100%，創(chuàng)造了諸多成功實例，除了要空氣潔凈度以外，還要保證達到除靜電的要求。比如光學(xué)產(chǎn)品的制造。

　　光學(xué)微電子凈化工程亦名凈化車間或清凈室，目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目，而我公司的設(shè)計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。光學(xué)微電子凈化工程一般包括：

　　光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)

　　換氣次數(shù)：100000 級≥15 次;10000 級≥20 次;1000≥30 次。壓差：主車間對相鄰房

　　間≥5Pa

　　平均風速：10 級、100 級 0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。

　　溫度 45-65%;GMP 粉劑車間濕度在 50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

　　噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的 10%-30%;照度 300LX。光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料

　　1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用 50mm 厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。

　　2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，

　　可選用防靜電型。

　　3.送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型 PF 發(fā)泡

　　塑膠板。

　　4.高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生

　　銹不粘塵，宜清潔。

　　光學(xué)微電子凈化工程解決方案:

　　凈化工程的設(shè)計過程中，應(yīng)加強對光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況，同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化方案，這樣才可設(shè)計出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求 、工程造價合理、經(jīng)濟節(jié)能實用的方案。

　　組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口

　　這是一個最傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或

　　1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)

　　2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室

　　等)

　　3、 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)

　　4、 設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用

　　房、冷熱設(shè)備用房)

　　光學(xué)微電子凈化工程凈化原理

　　氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程，即可達到凈化目的。

　　中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水

　　機組提供。

　　優(yōu)點：

　　A.空氣處理效果好，因空氣經(jīng)過集中處理，在送風過程中被污染程度

　　較低。送風的溫度、濕度的控制比較精確;

　　B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;

　　C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨立冷熱源;

　　下面以現(xiàn)代最為代表的 LED 行業(yè)為例，介紹光電光學(xué)行業(yè)無塵凈化車間。

　　LED 凈化車間工程安裝施工案例分析：在本設(shè)計里是指末端工藝的一些凈化凈化車間安裝，其凈化潔凈度一般為千級或萬級或十萬級凈化凈化車間安裝。

　　背光屏類凈化車間安裝主要是這類產(chǎn)品的沖壓車間、組裝等凈化凈化車間，其潔凈度一般為萬級或十萬級凈化凈化車間。

　　LED 凈化車間安裝室內(nèi)空氣參數(shù)要求:

　　1、溫濕度要求：溫度一般為 24+2℃，相對濕度為 55+5%。

　　2、新風量大。由于這類凈化凈化車間內(nèi)人員比較多，可以根

　　據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值：非單向流凈化凈化車間車間總送風量的 10-30%;補償室內(nèi)排風和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。

　　3、送風量大。為了滿足無塵凈化車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風量，就 300 平方米的車間，吊頂高度為 2.5 米的，如 果 是 萬 級 凈 化 凈 化 車 間 ， 送 風 量 就 需 要 300 × 2.5 × 30=22500m3/h 的送風量(換氣次數(shù)，是≥25 次/h);如果是十萬

　　級凈化凈化車間，送風量就需要 300×2.5×20=15000m3/h 的送風量(換氣次數(shù)，是≥15 次/h)。